洁净室风量平衡问题及解决方法

在洁净室里要注意达到风量平衡的问题。有哪些原因会造成洁净室风量失衡呢？又有哪些解决措施呢？

    一、造成洁净室出现风量不平衡的因素有六个：1.洁净室里初、中、高效过滤器随着使用时间的增加，其阻力也会增加，造成送风量减少，洁净室内正压值降低；2.洁净室生产工艺发生变化，排风量增加或减少都会造成洁净室内正压值的增加或减少；3.洁净室随着投入使用时间的增加，维护结构和门窗出现漏风现象，造成洁净室内正压值发生变化；4.洁净室管理不善，工作人员和净化设备的出入口、门或气闸室关闭不严，造成洁净室正压发生变化；5.洁净室送风机皮带松动、送风机转速降低造成送风量不足；6.洁净室个别FFU的风机或电机发生故障，运行停止都会造成循环风量不足。

    二、解决洁净室风量不平衡的措施有四个方面：1）洁净室设计选用过滤器时，按额定风量的75％～80％选用。净化空调箱的送风机或FFU采用变频措施；2）当洁净室工艺排风发生变化时，重新调整新风风量；3）加强洁净室空调系统的运行管理；4）洁净室应具备压差测试手段，当出现异常时报警，及时维护或更换。

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